油液光譜分析可以檢測潤滑油中的金屬元素，但其檢測對象是潤滑油及其中的所有顆粒，檢測出來的元素既包含潤滑油本身的元素、也包含外界的污染物質的元素、以及設備磨損及腐蝕產(chǎn)物的元素，但如果具體到某一金屬顆粒的的成分和材質，采用油液光譜分析是做不到的，這個時候就需要用到電鏡能譜分析。電鏡能譜分析可以對潤滑油中的某一特定磨粒進行元素分析，具體就是將磨粒分離出來，在電鏡下進行觀察，定位到需要檢測的金屬顆粒，再采用能譜儀對其表面微區(qū)元素成分進行分析，獲取其元素重量比和原子比，以此判斷該磨粒的材質。因此，采用電鏡能譜儀對磨粒進行成分分析，可以對該磨粒進行溯源，以此判斷磨損部件。
